真空區域劃分
真空區域劃分
為實用上便利起見,人們常把真空度粗劃為幾個區段,根據GB/T3163—93,真空區域大致劃分如下
低真空 105Pa~102Pa 中真空 102Pa~10-1Pa
高真空 10-1Pa~10-5Pa 超高真空 <10-5Pa
隨著真空技術的發展,在更低壓力下,氣體空間的物理特性有了新的特點,真空獲得和真空測量有了新的手段,區域劃方法如下
低真空 105Pa~102Pa 中真空 102Pa~10-1Pa
高真空 10-1Pa~10-5Pa 超高真空 10-5Pa~10-9Pa
極高真空 <10-9Pa